แท็กร้อน : LAM RESEARCH C3520 , 27 ซม. 716-028028-004 VCC-15-B-R1 311750-001 850B-23172 UPPER ELECTRODE CLAMP แหวนเซรามิค C3520 , 27ซม. 716-028028-004 แลมวิจัย C3520 , 27CM 716-028028-004 VCC-15-B-R1 311750-001 850B-23172 VCC-15-B-R1 C3520 , 27ซม. 716-028028-004 VCC-15-B-R1 311750-001 850B-23172 311750-001 850B-23172